연 Ｘ-선 현미경의 존 플레이트 및 시편 정렬 광학시스템

Abstract

본 발명은 연 X-선 현미경의 존 플레이트 및 시편 정렬 광학시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 시편과 존 플레이트 사이의 초점거리를 조정하기 위해 진공챔버의 외부에 구동기가 장착된 시준렌즈를 설치하여 시편 또는 존 플레이트의 위치를 검출하도록 한 연 X-선 현미경의 존 플레이트 및 시편 정렬 광학시스템에 관한 것이다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 연 X-선 현미경의 존 플레이트 및 시편 정렬 광학시스템은 투과창을 구비한 진공챔버의 내부에, 연 X-선 광원으로부터 입사한 연 X-선을 시편으로 집광하는 집광기구; 상기 시편에서 방출된 상기 연 X-선을 연 X-선 검출기로 집광하는 존 플레이트; 상기 시편 및 존 플레이트로부터 같은 방향에서 고정설치되고 가시광선을 상기 시편 또는 상기 존 플레이트로 집광하는 중앙이 관통된 대물렌즈; 및 상기 대물렌즈로부터 상기 같은 방향에 배치되어 상기 가시광선을 반사하는 중앙이 관통된 반사용 거울;이 설치되고, 상기 진공챔버의 외부에, 가시광선 광원으로부터 방출된 가시광선의 진행경로상에 설치되며 상기 가시광선을 전달하는 시준렌즈; 상기 가시광선 진행경로상에서 상기 시준렌즈를 지나서 설치되며 양측면에서 상기 가시광선의 일부를 투과시키고 나머지를 반사하는 광분리기; 상기 광분리기의 일측에 상을 맺기 위해 설치되고 이동을 위한 구동기가 장착된 결상렌즈; 및 상기 결상렌즈로부터 입사하는 가시광선을 검출하는 가시광선 검출기;가 설치되는 것을 특징으로 한다.