광학계의 열팽창 보상 장치

Abstract

본 발명은 온도변화에 따라 광학적 거리가 변화되지 않는 광학계에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 열팽창률이 다른 두 부재에 있어서 길이의 차이를 광학적 거리로 하여 상기 광학적 거리를 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 광학계의 열팽창 보상 장치에 관한 것이다. 본 발명의 열팽창 보상 장치는 제1반사부(42)와 제2반사부(43), 상기 제1반사부(42)와 제2반사부(43) 사이에 중공부(45)로 구성된 광학계에 있어서, 상기 제1반사부(42)는 제1부재(41)의 일단에 고정되고, 제2반사부(43)는 제2부재(44)의 일단에 고정되는 것과 함께 제1부재(41)와 제2부재(44)의 타단은 동일한 고정대(46)에 고착되어, 제1부재의 길이를 'L1', 열팽창률을 'α1'이라 하고 제2부재의 길이를 'L2', 열팽창률을 'α2'이라고 할 때, 제1반사부(42)의 길이에 대한 제2반사부(43)의 길이 비 를 로 하는 반사부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 온도 변화에 영향을 받지 않으며 일정한 길이를 유지시키는 광학 계측기기로 사용할 수 있어 계측기의 정밀도를 높일 수 있는 장점이 있다. 아울러, 산업 현장의 여러 기기들의 높은 정확성과 양질의 품질을 생산하기 위한 품질 관리기기로 활용할 수 있는 효과가 있다.