발광 다이오드 및 제조방법

Abstract

본 발명은 발광 다이오드 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 45도 반사기, 깊게 에칭된 사이드 월(side wall) 및 모노리딕 마이크로 렌즈(monolithic microlens)로 구성된 발광 다이오드를 제공하므로써, 광의 퍼짐을 막고 방향성을 강화하여 광을 집중시키고 강한 출력을 낼 수 있는 것을 목적으로 한다.상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 발광 박막이 성장된 웨이퍼가 형성된 발광 다이오드와, 상기 발광 다이오드의 활성층에서 발생된 광을 전반사시키는반사기와, 상기 반사기 하부에 접촉되고 InP기판 안으로 퍼져나가는 빛을 반사시키는 깊게 에칭된 사이드 월과, 상기 반사기 및 깊게 에칭된 사이드 월에서 반사된 광을 집속시켜 광을 방출하는 모노리딕 마이크로 렌즈를 포함하여 구성됨으로써, 광출력 포화현상으로 기인한 효율 저하를 개선하고 광을 집중하여 출력하므로 고휘도를 낼 수 있는 효과가 있다.