중첩계측오차를 보정하기 위한 계측시스템 및 이를 이용한계측방법(Measuring system for correcting overlay measurement error and method of measurement using the system)

Abstract

고차 회귀분석모형에 따른 중첩계측오차를 감안하여 실제 참값에 가까운 계측값을 도출할 수 있는 계측시스템 및 계측방법을 제시한다. 그 시스템 및 방법은 최적실험계획법을 이용하여 주어진 회귀분석모형과 계측할 샷의 수가 정해졌을 경우에 계측할 샷의 최적의 위치를 결정하는 방법과, 신뢰구간의 추정기법을 이용하여 주어진 회귀분석모형과 공정산포에 따른 계측할 샷의 최적의 수를 결정 하는 방법을 제공한다. 또한, 위의 두 가지 방법에 의해 공정의 변화에 따라 동적으로 계측할 샷의 수와 위치를 변경시킬 수 있는 동적계측 표본추출 방법을 소개한다. 나아가, 오류성 데이터를 검출하거나 계측된 데이터가 유실될 때, 강인회귀분석기법과 더불어 이를 필터링하는 방법을 제시한다.