슬릿노즐 정전분사법을 이용한 미소박막 제조장치 및 방법(Thin Film Coating Unit by Slit Nozzle EletrohydorstaticInjection and Method Thereof)

Abstract

본 발명은 미세박막 코팅장치 및 방법에 있어서, 주로 LCD, PDP-TV 등 가정용 초대형 광학제품의 디스플레이 유리기판의 PR 코팅공정 및 반도체 웨이퍼의 PR 코팅공정, 그리고 다양한 기능을 갖는 마이크로-나노필름 공정에 활용이 가능한 슬릿노즐 정전분사법을 이용한 미소박막 제조장치 및 방법에 관한 것으로,내부에 소형슬릿으로 이루어진 용액공급라인을 형성하여 외부에서 공급되는 코팅 용액을 하부로 이송하는 판 형태의 금속슬릿 노즐과; 상기 금속슬릿 노즐의 상부 일단에 접속된 핀 형태로서 금속슬릿 노즐에 전원이 공급되도록 하여 금속슬릿 내부에 존재하는 용액에 전원을 공급하는 노즐 전극과; 상기 노즐 전극을 통해 수kV 이상의 고전압을 인가하는 제 1 고전압 인가장치와; 상기 금속슬릿 노즐의 하부 일단에 수평하게 연장된 금속 가드판과; 상기 금속 가드판 일단에 접속된 핀 형태로서 가드판에 전원을 인가하는 가드판 전극과; 상기 가드판 전극에 수kV 이상의 고전압을 인가하는 제 2 고전압 인가장치와; 상기 금속슬릿노즐의 출구 아래에 위치되는 기판과; 상기 기판을 장착하며 전기적으로 접지시키는 접지판을 포함하여 구성함이 특징이다.