전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 장치 및 방법

Abstract

본 발명은 전하량 측정에 의한 압전 박막의 횡방향 압전 물성 측정 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 마이크로 센서(micro sensor) 또는 액츄에이터(actuator) 제작에 사용되는 압전 박막 시편에 대한 인장실험을 통해 변위, 변형률 및 전하량 등을 측정하고 이로부터 압전 박막의 횡방향 압전상수를 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다.본 발명에 의하면, 압전 재료로 구성된 박막형 압전체의 횡방향 압전상수를 측정할 때, 굽힘이 아닌 인장방식의 하중을 가하고, 그 과정에서 변형률 및 집적되는 전하량을 측정함으로써, 정밀하고 신뢰성 있게 압전 박막의 압전 상수를 측정할 수 있다. 이로부터 박막형 압전 재료의 횡방향 압전 물성에 대한 다양한 연구가 가능하게 되어 박막형 압전 재료를 사용하는 제품의 성능에 관한 연구를 성숙하게 할 뿐 아니라 압전 제품에 대한 안정적인 신뢰성 평가를 할 수 있다.