미소구조물의 변형률 측정방법

Abstract

본 발명은 패턴인식을 이용하여 기계적 또는 열적 하중으로 인한 재료의 변형률을 측정하는 방법에 관한 것으로서, 하나의 대물렌즈에 의해 측정대상물상의 두 지점에 대한 상을 얻고, 얻어진 상을 빔스플릿터에서 분리하고, 각각의 분리된 상을 줌렌즈를 통과시켜 카메라로 촬영하여 영상을 획득하고, 획득된 영상에서 패턴을 인식하며, 인식된 패턴을 추적하여 각 위치에서의 변위를 계산하는 것에 의해 변형률을 측정하는 방법을 제공하여 시편을 비접촉식으로 측정할 수 있게되고, 줌렌즈를 배치하여 해상도를 향상시킬 수 있고, 측정대상물의 전처리공정이 필요치 않게 되는 것은 물론 그로 인해 처리속도를 빠르게 할 수 있고 나아가서 실시간 변형률 측정이 가능한 효과를 갖는 것이다.