나노구조물 제조방법, 이에 의하여 제조된 나노구조물, 이를 위한 제조장치A method for manufacturing nanostructure, nanostructure manufactured by the same, apparatus for manufacturing the same
나노구조물 제조방법, 이에 의하여 제조된 나노구조물, 이를 위한 제조장치가 제공된다. 본 발명에 따른 나노구조물 제조방법은 나노구조물 전구체용액에 침지된 기판에 광에너지를 인가하는 방식으로 상기 기판상에 나노구조물을 성장시키며, 본 발명에 따른 나노구조물 제조방법은 고온의 증발 과정이 필요 없으므로, 경제성 등이 우수하다. 또한, 종래의 기상에서 진행되는 VLS법과는 달리 본 발명은 액상의 환경에서 나노구조물 성장 반응을 진행하므로, 경제성과 더불어 안전성이 우수하고, 보다 환경 친화적이다. 더 나아가, 원하는 각도와 위치에서 광에너지를 집적시키는 기술적 구성을 통하여 원하는 형태의 나노구조물을 소자에서 직접 제조할 수 있으며, 이에 따라 제조된 나노구조물을 다시 조립, 집적시키는 공정이 불필요하게 되는 장점이 있다.