적층용 단위 기판의 제조방법과, 단위 기판을 이용한 다층 기판 및 그 제조방법

Abstract

이 발명의 적층용 단위 기판은, 금속판의 상면에 다수의 홈을 가공하는 단계와, 다수의 홈이 형성된 표면에 절연성을 갖는 감광성 물질을 도포하되 다수의 홈 내에 채워 절연부를 형성하고 금속판의 표면을 코팅해 감광층을 형성하는 단계와, 감광층에 다수의 구멍을 가공한 후, 다수의 구멍에 금속판과 접촉하는 다수의 금속 범프를 형성하는 단계와, 다수의 금속 범프의 높이를 평탄화하는 단계, 및 감광층의 일부 또는 전체를 제거해 다수의 금속 범프를 금속판의 상면으로 돌출시키는 단계를 통해 제조한다. 또한, 이 발명의 다층 기판은, 기재의 상면에 적층용 단위 기판을 순차적으로 적층하되, 적층과정에서 금속판의 일부분을 제거하여 회로선을 노출시키면서 적층하거나 적층 전에 회로선을 노출시킨 상태에서 적층하여 제조하므로, 생산성을 향상시키고 적층된 기판의 평편도를 높여 정밀도와 집적도를 향상시키는 장점이 있다.