패턴 제조 방법 및 패턴 전사 장치, 이를 적용한 플렉서블 디스플레이 패널, 플렉서블 태양전지, 전자책, 박막 트랜지스터, 전자파 차폐시트, 플렉서블 인쇄회로기판

Abstract

본 발명은 패턴 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 간단한 공정으로 패턴을 반복적, 연속적으로 제조할 수 있는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패턴 제조 방법에 의하면, 기판 상에 소수성 코팅층과 플라즈마 유발층을 순차적으로 형성한 다음, 상기 기판에서 상기 플라즈마 유발층 방향으로 레이저를 조사하여 상기 소수성 코팅층과 상기 플라즈마 유발층 사이에 플라즈마를 발생시키고, 상기 발생된 플라즈마에 의해 상기 소수성 코팅층이 선택적으로 제거되어 표면 몰드를 형성하는 제1 단계; 표면 몰드 상에, 패턴 물질을 입히고 건조시킨 후 고온 소결시켜 코팅하는 제2 단계; 표면 몰드에 써멀 릴리즈 테이프를 붙였다 떼는 것에 의해 써멀 릴리즈 테이프 상으로 패턴 물질을 전사하는 제3 단계; 써멀 릴리즈 테이프 상으로 전사된 패턴 물질을 대상 기판으로 전사하는 제4 단계를 포함한다.