초음파를 이용한 비접촉 마이크로 어레이 패턴 형성 시스템 및 그 시스템을 이용한 마이크로 어레이 패턴 형성방법System for Forming Non―Contact Micro Array Pattern and Method for Forming the Non―Contact Micro Array Pattern
본 발명은, 초음파를 이용한 비접촉 방식으로 마이크로 어레이 패턴을 형성하는 방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 제 1 항의 마이크로 어레이 형성 시스템을 이용한 마이크로 어레이 형성 방법에 있어서, 하부판에 마이크로 홀을 복수로 구비하는 지그를 제작하는 단계; 지그의 내부에 마이크로 어레이 패턴의 재료가 되는 시약를 투입하는 단계; 초음파 발생기와 연결된 초음파 진동자를 시약에 침지시키는 단계; 하부판을 기판에 특정 간격으로 이격되도록 평행하게 접근시키는 단계; 초음파 발생기를 작동시켜 초음파 진동자의 진동에 의해 초음파가 발생되는 단계; 지그와 기판이 비접촉된 상태에서, 시약이 마이크로 홀을 통해 분사되는 단계; 및 분사된 시약이 기판에 마이크로 어레이 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 비접촉 마이크로 어레이 형성 방법에 관한 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2012-07-02
- Application Date
- 2010-02-19
- Application Number
- 10-2010-0015006
- Registration Date
- 2012-07-02
- Registration Number
- 10-1163707-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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