크랙 진전을 이용한, 패턴형성방법, 재료 컷팅방법 및 재료 컷팅장치METHOD FOR FABRICATING PATTERN, METHOD AND APPARATUS FOR CUTTING MATERIAL USING CRACK PROPAGATION
본 발명은 크랙 진전을 이용한, 패턴형성방법, 재료 컷팅방법 및 재료 컷팅장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 크랙 진전을 이용한 패턴형성방법은, 재료 표면의 제1 지점에 홈을 형성하는 홈 형성단계, 상기 재료 표면에 수직으로 진동을 전달하는 초음파 가진기를 이송 스테이지에 의해 이동하면서, 상기 홈을 시작점으로 초음파를 발생하여 상기 제1 지점에서 제2 지점까지 크랙을 진전시키는 크랙 진전단계 및, 상기 제1 및 제2 지점 사이에 형성된 크랙 표면을 가공하여 패턴몰드로 사용하기 위한 패턴을 형성하는 패턴 형성단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2012-01-09
- Application Date
- 2009-08-06
- Application Number
- 10-2009-0072293
- Registration Date
- 2012-01-09
- Registration Number
- 10-1106112-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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