진동부가 충진을 통한 고종횡비 미세 패턴제작방법(Fabrication Method of High Aspect Ratio Nano/Micro Patterns by Vibration-assisted Filling Process)Fabrication Method of High Aspect Ratio Nano/Micro Patterns by Vibration-assisted Filling Process
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 양동열 | ko |
| dc.contributor.author | 류승민 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T11:50:25Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T11:50:25Z | - |
| dc.date.issued | 2010-04-22 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/234829 | - |
| dc.description.abstract | 이 발명의 패턴제작방법은, 몰드의 패턴이 형성된 부위에 액상의 패턴 재료(수지)를 진동을 부가하면서 충진하는 충진단계와, 액상의 패턴 재료가 충진된 몰드를 기판과 압착하는 압착단계와, 충진된 액상의 패턴 재료를 경화시키는 경화단계, 및 경화된 고상의 패턴을 몰드와 이형시키는 이형단계를 포함한다. 이 발명은 몰드를 이용하여 패턴을 형성하는 전사법(transfer method)에서 수지에 진동을 부가하여 수지와 몰드와의 계면에서의 마찰특성을 활성화시켜 효과적으로 수지를 충진시킴으로써 고종횡비의 미세패턴을 제작할 수 있다. | - |
| dc.title | 진동부가 충진을 통한 고종횡비 미세 패턴제작방법(Fabrication Method of High Aspect Ratio Nano/Micro Patterns by Vibration-assisted Filling Process) | - |
| dc.title.alternative | Fabrication Method of High Aspect Ratio Nano/Micro Patterns by Vibration-assisted Filling Process | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 양동열 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 류승민 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2008-0036558 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0955453-0000 | - |
| dc.date.application | 2008-04-21 | - |
| dc.date.registration | 2010-04-22 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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