패턴 제조 방법

Abstract

본 발명의 패턴 제조 방법은, 기판 상에 은 이온이 유기물과 이온결합되어 투명한 상태를 유지하고 있는 금속 유기 화합물 잉크층을 박막으로 형성하는 제1 단계; 기판을 가열하는 것에 의하여, 은 이온을 환원시켜 상기 금속 유기 화합물 잉크층을 반고상 상태로 경화시키고, 또한 금속 유기 화합물 잉크층에서 유기물을 증발시키는 제2 단계; 유기물이 증발되어 금속 유기 화합물 잉크층의 두께가 제1 단계에서 형성된 때보다 얇아진 상태에서, 반고상 상태의 금속 유기 화합물 잉크층에 레이저 광을 조사하여, 조사된 부위가 고상상태로 경화되어 패턴이 형성되는 제3 단계; 및 반고상 상태의 금속 유기 화합물 잉크층을 제거하여 패턴만을 남기는 제4 단계를 포함한다.