반사체를 이용한 미소 6자유도 운동 측정 장치

Abstract

본 발명은 반사체를 이용한 미소 6자유도 운동 측정 장치에 있어서, 반사체를 이용하여 측정대상물체의 6자유도 변위를 쉽고 정밀하게 측정할 수 있고, 고속운동하는 측정대상물체의 변위를 용이하게 측정할 수 있으며, 정밀도가 우수한 6자유도 운동측정장치를 제공토록 하는 것을 특징으로 하는 반사체를 이용한 미소 6자유도 운동 측정 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 레이저 광원으로 부터 진행하는 레이저 광선을 이용하여 측정 대상물의 6자유도 운동을 측정하는 장치에 있어서, 상기 측정대상물에 고정되며 상기 레이저광선을 3방향으로 반사시키는 삼각뿔 형상의 삼면반사체와, 상기 삼면반사체의 운동에 따라 그 표면에 맺히는 레이저 광점의 위치와 강도를 측정하여 출력신호를 제공하는 3개의 위치 검출기와, 상기 3개의 위치검출기로부터 출력되는 레이저 광점의 위치와 강도를 이용하여 상기 삼면반사체의 6자유도를 분석하는 제어부를 포함하는 6자유도 운동측정장치가 제공된다.반사체, 6자유도, 레이저, 위치검출기