미세바늘 어레이 제작방법

Abstract

본 발명은 미세바늘 어레이 제작방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복잡한 형상의 면내형 미세바늘 어레이를 용이하게 제작하는 방법 및 면내형 미세바늘 어레이를 이용하여 면외형 미세바늘 어레이를 제작하는 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 면내형 미세바늘 어레이 제작방법은, 평판 형상의 베이스를 제작하는 단계와, 베이스의 상면에 전기도금 씨앗층을 증착하는 단계와, 전기도금 씨앗층 위에 감광제를 도포하는 단계와, 감광제에 대해 광선으로 노광하고 현상하여 전기도금 씨앗층이 소정 형상의 패턴으로 노출되도록 하는 단계와, 노출된 전기도금 씨앗층에 전기도금하는 단계와, 전기도금에 의해 형성된 도금층을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 따른 면외형 미세바늘 어레이 제작방법은, 평판 형상의 기판을 제조하는 단계와, 면내형 미세바늘 어레이를 제조하는 단계와, 기판의 일면에 면내형 미세바늘 어레이를 수직으로 고정시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.