엑스선 경사노광의 천이영역을 제거하기 위한 미세구조물제조장치 및 그 방법FABRICATION APPARATUS OF MICRO-STRUCTURE FOR REMOVINGTRANSIENT AREA OF INCLINED X-RAY EXPOSURE ANDFABRICATION METHOD THEREOF
본 발명은 LIGA공정을 이용하여 감광성 폴리머로 구성된 미세구조물에 경사면을 형성하기 위한 장치 및 그 방법을 개시한다. 더욱 상세하게 본 발명은 노광광원인 X선을 X선 마스크에 수직하게 노광하여 미세구조물에 경사면을 형성함으로써 미세구조물의 불균일한 조도를 갖는 부분을 제거할 수 있는 X선 경사노광의 천이영역을 제거하기 위한 장치 및 그 방법을 개시한다.