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수직 트랜지스터의 자기 정렬 컨택 형성방법 및 컨택홀을 포함하는 수직 트랜지스터 송명호 |
실리콘 드리프트 디텍터를 이용한 엑스선 검출용 방사선 검출기 나노팹; 김경태; 양준모; 유정호; 송명호; 현문섭; 정칠성 |
웨이퍼 레벨 패키지용 캡핑 웨이퍼의 제조를 위한 포토마스크 및 이를 이용한 웨이퍼 레벨 패키지용 캡핑 웨이퍼의 제조 방법 나노팹; 송명호; 황욱중, 2014-09-02 |
유리 기판의 에지 가공을 위한 정렬 장치 및 그 방법 나노팹; 송명호; 현문섭, 2018-03-02 |
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