디지털-아날로그 변환 미소기계 구동기

Abstract

본 발명은 디지털 신호에 따라 다양한 아날로그 변위를 출력하는 구동기로서, 상기 디지털 신호에 따라 개별적으로 동작하는 복수개의 입력 질량체, 상기 복수개의 입력 질량체의 합력에 따라 변위를 출력하는 출력 질량체, 및 상기 복수개의 입력 질량체와 상기 출력 질량체를 각각 연결하는 복수개의 탄성부재를 포함하고, 상기 복수개의 입력 질량체는 상기 복수개의 탄성부재를 매개로 각기 다른 크기의 구동력을 상기 출력 질량체에 전달하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성된 디지털-아날로그 변환 미소기계 구동기는 구동력의 크기가 다른 다수의 디지털 입력 구동기의 조합을 이용하여 예측 가능한 고정밀도 아날로그 출력변위를 손쉽게 얻을 수 있다.