이온 핵을 이용한 노즐 빔 나노입자 생성방법 및 생성장치

Abstract

본 발명은 이온 핵을 이용한 노즐 빔 나노 입자 생성방법 및 생성장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 노즐 빔 기상합성법에 의한 금속 나노 입자 생성방법에 있어서, 금속을 가열하여 금속 증기를 발생시키는 단계, 코로나 방전을 통하여 아르곤 기체를 이온화시키는 단계 및 발생한 이온이 핵으로 작용하여 금속 증기가 응축함으로써 금속 나노 입자가 생성되는 단계로 이루어진 것을 특징으로 한다. 또한 본 발명은 노즐 빔 기상합성법에 의한 금속 나노 입자 생성장치에 있어서 금속 증기를 발생시키기 위한 증발 챔버, 아르곤 기체를 이온화시키기 위한 코로나 방전장치 및 발생한 이온과 금속 증기가 응축하여 생성된 금속 나노 입자가 부착되는 부착 챔버로 구성된 것을 특징으로 하는 이온 핵을 이용한 노즐 빔 나노 입자 생성장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 이온 핵을 이용한 노즐 빔 나노입자 생성방법 및 생성장치에 의하면 종래 동질 응축에 의한 나노 입자 기상합성법에 비해 나노 입자의 단분산도를 높일 수 있고 열역학적인 조건의 변화 없이 전기적인 제어를 통해 이온 핵의 농도를 조절함으로써 보다 효율적이고 경제적인 방법으로 입자 특성을 조절할 수 있으며, 이에 따라 금속 나노 입자의 대량 생산을 유리하게 할 수 있는 효과를 달성한다.