공압 컨베이어

Abstract

본 발명은 면적이 넓으면서 두께가 얇은 판형 부재를 이송시키는 컨베이어에 관한 것으로, 이송시 발생되는 부재의 파손과 변형을 줄일 수 있도록 부재전체에 균일한 압력을 가하여 소정 높이로 부상시켜 이송시키는 공압 컨베이어에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 판형 부재를 이송시키기 위한 공압 컨베이어로서, 복수개의 공기 유량 조절을 위한 리스트릭터(Restrictor)가 윗면에 형성된 매니폴드(Manifold)와; 이 매니폴드 위에 설치되어 매니폴드의 리스트릭터로부터 공급된 공기를 전체 단면에 걸쳐 실질적으로 균일한 압력으로 상방으로 공급되도록 하는 복수개의 공기포켓과; 이 복수개의 공기포켓에 의해 띄워진 판형 부재를 이송시키는 이송장치를 포함하며, 넓은 면적을 갖는 부재에 균일한 공기압력을 가해 부상시키고 별도의 이송장치를 통해 이송시킴으로써 반도체 웨이퍼와 같이 파손되기 쉬운 판형 부재를 안전하게 이송시킬 수 있는 효과가 있다.