전기도금법과 고온 산화법을 결합한 금속산화물-탄소나노튜브 복합박막의 제조방법(Method of fabricating metal oxide-carbon nanotube composite films using a combined electrochemical deposition and thermal oxidation)

Abstract

본 발명은 전기도금법 및 화학첨가제를 이용한 나노결정립금속/탄소나노튜브 복합재료 박막(nanocrystalline metal/carbon nanotube nanocomposite film)을 제조한 후 이들 복합재료 박막을 고온 산화시켜 저응력 금속산화물/탄소나노튜브 복합재료의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 특정 금속 또는 금속염과 결정립미세화하는 금속 킬레이트제를 포함하는 금속도금용액에 탄소나노튜브와 탄소나노튜브의 분산 및 흡착을 증진시키고 상기 금속 킬레이트제와 간섭을 하지 않는 음이온성 계면활성제를 첨가한 다음 전기 도금하여 음극에서 탄소나노튜브가 잘 분산되어 균질한 나노결정립금속/탄소나노튜브 나노복합체 막을 형성할 수 있는 제조방법과, 열처리에 의해 다공질 복합박막을 형성 후 고온산화법을 이용하여 금속산화물-탄소나노튜브 나노복합체 막을 제조하는 방법을 제공한다．