온도와 유전율을 동시에 측정하기 위한 온도 유전센서 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 온도와 유전율을 동시에 측정하기 위한 온도 유전센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 고분자 재료의 제조시 유전센서와 온도센서를 이용하여, 상기 고분자 재료의 유전적인 특성과 온도를 동시에 측정하고자 하는 온도와 유전율을 동시에 측정하기 위한 온도 유전센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해, 사각형상의 제 1 금속박판과 제 2 금속박판이 서로 맞대어진 일면에 실리콘 고무 테이프를 부착하여 평행하게 고정시키는 제 1 단계와; 상기 제 1 금속박판과 상기 제 2 금속박판 타면에 액상의 제 1 베이스를 도포한 후, 가열하여 상기 제 1 베이스가 응고 접착되는 제 2 단계와; 상기 제 1 금속박판과 상기 제 2 금속박판의 일면에 부착된 상기 실리콘 고무 테이프를 제거하고, 잔류하는 이물질을 세정하는 제 3 단계와; 상기 제 1 금속박판과 상기 제 2 금속박판의 일면에 음각 및 양각용 감광필름을 부착하는 제 4 단계와; 상기 제 1 금속박판과 상기 제 2 금속박판의 경계면 상에 공통접점과 온도센서 전극이 접하도록, 상기 감광필름 상면에 마스크를 통해 자외선을 조사한 후 에칭하여, 상기 제 1 베이스의 일면에 금속전극이 형성되는 제 5 단계를 포함하여 이루어지는 것이 특징이다. 유전센서, 온도센서, 전극, 폴리이미드, 고분자 재료