기동자석형 ＶＣＭ을 이용한 정밀 액츄에이터스테이지장치A Fine Actuator Stage Using Moving Magnet Type Of VCM
본 발명은 기동자석형 VCM을 이용한 정밀 액츄에이터 스테이지장치에 관한 것으로, 중공축 및 상기 중공축이 중심 부위에 고정되는 코일로 이루어져 플레이트 안측의 관통부위에 양측이 노출되도록 고정 배치되는 기동유도유닛 및 상기 코일의 자력에 기초하여 상기 중공축을 중심으로 상대적인 직선구동 및 회전이 가능하도록 상기 중공축에 대칭되게 끼워지는 한쌍의 요크 및 상기 요크에 각각 자기력으로 결합되고, 상기 중공축의 양단에 각각 끼움 결합되어 코일에 서로 다른 극성으로 대면하는 기동자석으로 이루어지는 기동유닛으로 이루어져 구성되는 것을 특징으로 한다. 이 때 상기 기동유도유닛은 3개가 상호 60°의 각도로 삼각구도를 취하여 상기 플레이트에 배치되는 것이 바람직하다.코일, 기동자석, VCM, 액츄에이터, 스테이지, 요크
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2003-11-20
- Application Date
- 2001-09-04
- Application Number
- 10-2001-0054254
- Registration Date
- 2003-11-20
- Registration Number
- 10-0407897-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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