각기 다른 금속 물질의 단차 측정을 위한 두 파장 백색광간섭법과 간섭계

Abstract

본 발명은 두 파장 백색광 간섭법을 이용하여 재질이 다른 물질의 단차 측정시 발생하는 오차를 최소화할 수 있는 측정법에 관한 것으로서, 특히 백색광 간섭법을 이용하여 다른 물질로 형성된 단차를 측정할 때 위상 변화율의 차이로 인해 발생하는 오차를 보상하기 위해, 두 물질에 대한 위상 변화율의 차이를 수학적으로 표현하고, 상기 수학식으로부터 오차를 한번의 측정으로 보상할 수 있는 측정법에 관한 것이다. 기존의 광위상 간섭법에서 금속 물질의 위상 변화는 물질에 따라 10 ~ 40nm의 측정 오차를 유발한다. 본 발명에서는 위상 변화의 오차가 백색광 간섭무늬의 위상 정점과 가시도 정점에 미치는 영향을 해석적으로 증명하고 금속 물질의 파장에 대한 위상 변화율 수학적으로 모델링하여 일차 직선으로 가정하고 이로부터 단차 값에 보상하는 방법을 제안한다. 아울러, 자가 보정법은 두 파장 백색광 간섭무늬가 갖는 두 개의 위상 정점과 한 개의 가시도 정점으로부터 위상 변화율 오차를 추출하므로, 해당 금속의 위상변화를 얻기위해 별도의 실험을 하지 않고도 한번의 측정을 통해 위상변화로 인한 오차를 보상하는 두 파장 백색광 간섭법과 측정장치를 제안한다. 두파장간섭계, 주파수, 단차, 이종금속