원형 진동판을 갖는 마이크로 음향소자 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명은 원형 진동판을 갖는 마이크로 음향소자 및 그 제조 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 원형 진동판을 갖는 마이크로 음향소자는 실리콘 웨이퍼 상면에서 원형의 주위에 도핑된 붕소 도핑층과, 붕소 도핑층을 경계로 하여 함몰홈이 형성된 실리콘 웨이퍼와, 실리콘 웨이퍼 상에 저압화학기상증착된 실리콘 질화막으로 구성되는 제1절연막과, 제1절연막 상에 형성된 하부 도넛형 전극, 및 하부 도넛형 전극과 전기적으로 연결되는 하부 단자 전극으로 구성되는 하부 전극과, 하부 전극 상에 적층된 제2절연막과, 제2절연막 상에 형성된 압전 박막과, 압전 박막 상에 형성된 상부 도넛형 전극, 및 상부 도넛형 전극과 전기적으로 연결되는 상부 단자 전극으로 구성되는 상부 전극으로 구성된다. 이에 따라, 본 발명은 오랜 기간동안의 사용에도 구조적으로 파괴 등이 발생하지 않도록 내구성이 우수하고, 내부응력이 낮은 실리콘 질화막을 원형의 진동판으로 제작함으로써 진동에 의한 신호특성을 다른 형태의 진동판에 비하여 높게 할 수 있으며, 식각정지층으로서 붕소 도핑층을 사용하함으로써 원형의 진동판을 용이하게 제작할 수 있다.