강유전체 박막소자 및 그 제조방법Ferroelectric Substance Thin Film Element and manufacturing method thereof
온 축 방식 스퍼터링에 의하여 결정성 및 표면 거칠기가 우수하고,삶 증착율이 현저히 개선되는 강유전체 얇은 막 소자 및 그 제조 방법을 제공한다.본 발명의 강유전체 제조 방법은,SrTiO3(STO)기판상에 SrRuO3(SRO)얇은 막을 증착하는 공정과,동증착 되는 SRO 얇은 막에 BiFeO3(BFO)얇은 막을 증착하는 공정을 포함하고,각얇은 막의 증착은 STO 기판을 접지로부터 절연한 상태로 증착한다.본 발명의 강유전체 제조 방법에 의한다면,대량 생산이 가능으로 증착율이 현저히 향상할 뿐만 아니라,강유전체 얇은 막의 표면이 균일히 형성되고 누설 전류가 현저히 감소하고,또한 잔류 분극이 커진다는 효과가 있다
- Assignee
- KAIST
- Country
- JA (Japan)
- Issue Date
- 2012-02-17
- Application Date
- 2008-08-28
- Application Number
- 2008-219756
- Registration Date
- 2012-02-17
- Registration Number
- 4927799
- Appears in Collection
- RIMS Patents
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