블록 공중합체의 유도 자기 조립을 이용한 동심원 나노갭 구조 기반 표면강화 라만 분광 기판 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명에 따른 표면강화 라만 분광기판의 제조 방법은 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 규칙적으로 배열되는 원형 구조체를 형성하는 단계; 상기 기판 및 상기 원형 구조체 상에 제1 증착 금속을 1차적으로 코팅하는 단계; 상기 원형 구조체를 제거하여 나노 크기의 구멍을 형성하는 단계; 상기 나노 크기의 구멍 상에 서로 다른 2 이상의 블록 공중합체의 코팅, 유도 자기 조립 과정 및 산화를 통해 동심원 나노 구조체를 형성하는 단계; 상기 동심원 나노 구조체 상에 제2 증착 금속을 2차적으로 코팅하는 단계; 및 상기 제2 증착 금속의 식각을 통해 복수의 동심원 금속 나노갭을 형성하는 단계;를 포함한다.