단면 시편 제조 장치Specimen preparation apparatus
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 나노팹 | ko |
| dc.contributor.author | 손우식 | ko |
| dc.contributor.author | 유정호 | ko |
| dc.contributor.author | 양준모 | ko |
| dc.contributor.author | 현문섭 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T11:03:27Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T11:03:27Z | - |
| dc.date.issued | 2015-05-19 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/233349 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 주사 전자현미경(SEM: Scanning Electron Microscope) 분석용 시편을 제조할 수 있는 단면 시편 제조 장치에 관한 것으로서, 대상물의 제 1 면에 제 1 빔을 조사하여 상기 제 1 면을 밀링하는 적어도 하나의 제 1 밀링기; 및 상기 대상물의 상기 제 1 면의 반대면인 제 2 면에 제 2 빔을 조사하여 상기 제 2 면을 밀링하는 적어도 하나의 제 2 밀링기;를 포함할 수 있다. | - |
| dc.title | 단면 시편 제조 장치 | - |
| dc.title.alternative | Specimen preparation apparatus | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 손우식 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 유정호 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 양준모 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 현문섭 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2014-0017381 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1522875-0000 | - |
| dc.date.application | 2014-02-14 | - |
| dc.date.registration | 2015-05-19 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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