금속산화물 반도체 나노 구조체와 그래핀의 복합체를 이용한 가스 센서용 부재，가스 센서 및 그 제조 방법Gas sensor and member using composite of metal oxide material semiconductor nano structure and graphene, and manufacturing method thereof
본 발명은 가스 센서용 부재, 이를 이용한 가스 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 광소결 공정을 이용하여 형성한 금속산화물 반도체 나노 구조체와 그래핀의 복합체를 이용한 가스 센서용 부재, 가스 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.본 발명은 금속산화물 반도체로 구성되는 복수의 나노 입자; 상기 복수의 나노 입자로 구성되는 1차원 또는 다차원 형상의 나노 구조체; 및 상기 나노 구조체의 표면에 결착하는 그래핀 촉매를 포함하여 구성되며, 상기 그래핀 촉매는 2차원의 평면 혹은 곡면 구조 그래핀 물질이 파쇄된 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 금속산화물 반도체 나노 구조체와 그래핀의 복합체를 이용한 가스 센서용 부재를 구성함으로써, 간단한 검출 과정을 통하여 극미량의 가스를 검출해 낼 수 있는 높은 감도 특성과 함께, 다양한 가스에 대한 검출이 가능하도록 우수한 선택성을 가지고, 촉매로서 사용되는 그래핀 소재의 촉매 기능을 최대화할 수 있으며, 효율적인 공정으로 생산이 가능한 가스 센서용 부재, 가스 센서 및 그 제조 방법을 개시할 수 있는 효과를 갖는다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-05-13
- Application Date
- 2013-08-12
- Application Number
- 10-2013-0095125
- Registration Date
- 2015-05-13
- Registration Number
- 10-1521417-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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