고 응답 멤스 디바이스 및 그 제조방법Method for fabricating MEMS devices with high response
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 임성규 | ko |
| dc.contributor.author | 김영수 | ko |
| dc.contributor.author | 김한흥 | ko |
| dc.contributor.author | 임부택 | ko |
| dc.contributor.author | 김태현 | ko |
| dc.contributor.author | 김경태 | ko |
| dc.contributor.author | 황욱중 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T10:59:31Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T10:59:31Z | - |
| dc.date.issued | 2014-06-11 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/233204 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 픽셀의 구부러짐을 유발하지 않고 저항 균일도도 동등하게 유지하면서 열고립이 되는 고 응답 멤스 디바이스 및 그 제조방법을 위하여, 판독집적회로를 포함하는 하부 구조체, 상기 하부 구조체와 서로 이격되고, 적외선을 흡수하면 전기저항이 변화하는 적외선 감지부를 구비하는, 상부 구조체 및 상기 적외선 감지부와 상기 판독집적회로를 전기적으로 연결하기 위한 레그부를 포함하고, 상기 레그부는, 열시상수 및 응답도를 조절하기 위하여, 적어도 하나 이상의 관통홀을 구비하는 멤스 디바이스 및 그 제조방법을 제공한다. | - |
| dc.title | 고 응답 멤스 디바이스 및 그 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | Method for fabricating MEMS devices with high response | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김영수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김한흥 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 임부택 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김태현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김경태 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 황욱중 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2013-0045874 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1408905-0000 | - |
| dc.date.application | 2013-04-25 | - |
| dc.date.registration | 2014-06-11 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
- Appears in Collection
- RIMS Patents
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.