나노리소그래피용 마이크로팁 어레이, 이의 제조방법 및 이를 이용한 나노리소그래피 방법Microtip arrays for nano lithography, manufacturing method of the same and nano lithography method using the same
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정기훈 | ko |
| dc.contributor.author | 이영섭 | ko |
| dc.contributor.author | 김재준 | ko |
| dc.contributor.author | 강민희 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T10:59:09Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T10:59:09Z | - |
| dc.date.issued | 2015-07-30 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/233191 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 나노 플라즈모닉 마이크로팁 어레이, 이의 제조방법 및 이를 이용한 나노리소그래피 방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 대면적으로 엘라스토머 또는 폴리머 마이크로팁 어레이를 제작하고 상기 어레이 표면에 금속 나노 구조를 형성함으로써 회절한계 이하의 나노 구조를 제작할 수 있는 나노리소그래피용 마이크로팁 어레이, 이의 제조방법 및 이를 이용한 리소그래피 방법에 대한 것이다. 나노리소그래피용 마이크로 팁 어레이에 있어서, 상기 마이크로 팁 어레이는 표면에 금속 나노 구조들이 형성되어 있는 나노리소그래피용 마이크로 팁 어레이를 제공한다. | - |
| dc.title | 나노리소그래피용 마이크로팁 어레이, 이의 제조방법 및 이를 이용한 나노리소그래피 방법 | - |
| dc.title.alternative | Microtip arrays for nano lithography, manufacturing method of the same and nano lithography method using the same | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 정기훈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이영섭 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김재준 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 강민희 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2013-0021369 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1542142-0000 | - |
| dc.date.application | 2013-02-27 | - |
| dc.date.registration | 2015-07-30 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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