금속 박막 패터닝 방법 및 이에 의해 제조된 검출기판을 이용한 생물화학 대상물질 검출 방법 방법METHOD OF PATTERNING METAL THIN FILM TO SENSING SUBSTRATE, AND SENSING BIOCHEMICAL TARGET MATERIALS USING THEREOF
본 발명은 내부에 미세유체채널이 형성된 기판부를 가열하는 단계, 미세유체채널로 금속 전구체 용액을 주입하는 단계 및 미세유체채널의 내부면에 금속 박막을 패터닝 하는 단계를 포함하는 금속 박막 패터닝 방법을 제공한다.또한, 본 발명은 금속 박막 패터닝 방법에 의해 제조된 검출기판을 이용한 물질 검출 방법에 있어서 검출채널로 생물화학 대상물질을 주입하는 단계 및 라만 분광계를 이용하여 생물화학 대상물질을 검출하는 단계를 포함하는 물질 검출 방법을 제공한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-06-29
- Application Date
- 2013-10-22
- Application Number
- 10-2013-0126038
- Registration Date
- 2015-06-29
- Registration Number
- 10-1533646-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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