이중 검출 반사 공초점 현미경 및 이를 사용하는 시편의 높이의 정보를 검출하는 방법DUAL DETECTION CONFOCAL REFLECTING MICROSCOPE AND METHOD OF DETECTING INFORMATION ON HEIGHT OF SAMPLE USING SAME
시편의 높이의 정보를 검출하는 공초점 현미경 및 시편의 높이의 정보를 검출하는 방법이 제공된다. 실시예의 공초점 현미경은 복수의 핀홀을 구비하고, 복수의 핀홀을 통과한 반사광의 세기에 기반하여 시편의 높이의 정보를 검출할 수 있고, 검출된 시편의 높이의 정보에 기반하여 시편의 3 차원이 생성될 수 있다. 실시예의 공초점 현미경은 공초점 현미경 및/또는 시편의 기계적인 이송 없이 시편의 높이의 정보를 검출할 수 있고, 시편을 2 차원 평면에서 스캔하는 것만으로 시편의 3 차원 영상을 생성할 수 있다.
- Assignee
- 한양대학교 산학협력단,한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2013-10-25
- Application Number
- 10-2013-0128066
- Registration Date
- 2015-03-18
- Registration Number
- 10-1505745-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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