레이저를 이용한 기판 라운딩 장치 및 그 방법APPARATUS FOR LASER ROUNDING AND METHODS OF THE SAME
레이저를 이용한 기판 라운딩 장치에 있어서, 상기 기판을 적어도 제1 방향으로 이동시킬 수 있는 기판 스테이지, 및 상기 기판 스테이지 상에 위치하며, 상기 제1 방향으로 이동하는 상기 기판의 에지 영역의 서로 마주보는 양단에 레이저 빔을 주사하는 레이저 빔 주사수단을 포함한다. 예시적인 실시예들에 따른 기판 라운딩 장치에 의하면, 레이저 빔을 변형하여 기판 모서리에 주사함으로써, 별도의 예열장치 없이 라운딩 공정과 동시에 예열 공정이 이루어질 수 있다. 따라서, 라운딩 장치의 구조가 단순해지고 별도의 예열 공정이 필요하지 않으므로 유리 기판의 가공 속도가 빨라지므로 생산성을 높일 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-03-11
- Application Date
- 2013-11-27
- Application Number
- 10-2013-0145464
- Registration Date
- 2015-03-11
- Registration Number
- 10-1503415-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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