반도체 제조용 액상 조성물, 상기를 이용한 반도체 박막 및 박막 트랜지스터의 제조방법LIQUID-PHASE COMPOSITION FOR PREPARING SEMICONDUCTOR AND PREPARING METHODS OF SEMICONDUCTOR THIN FILM AND THIN FILM TRANSISTOR USING THE SAME
본원은, 반도체 제조용 액상 조성물, 및 상기 반도체 제조용 액상 조성물을 이용한 반도체 박막의 제조방법 및 박막 트랜지스터의 제조방법에 관한 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-04-06
- Application Date
- 2013-11-12
- Application Number
- 10-2013-0136955
- Registration Date
- 2015-04-06
- Registration Number
- 10-1511932-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.