후처리 공정 없이 표준 CMOS 공정만으로 제조 가능한 습도센서

Abstract

본 발명은 후처리 공정없이 표준 CMOS 공정만으로 제조 가능하고 회로의 기생성분에 영향이 적어 회로의 복잡도를 떨어뜨리고 출력이 선형적으로 나타나는 습도센서를 제공하기 위한 것으로서, 표준 CMOS 집적회로의 탑 메탈(top metal)을 전극으로 사용하여 실리콘 디옥사이드(silicon dioxide)의 표면에 전하이동이 습도에 따라 변하는 것을 감지하는 습도 감지부와, 상기 습도 감지부에서 감지되는 실리콘 디옥사이드(silicon dioxide)의 표면에 흐르는 전류를 선형적인 함수형태로 변환하는 로그 컨버터(log converter)를 포함하여 구성되는데 있다.