마이크로 디바이스용 곁사슬 폴리머

Abstract

본 발명은 우수한 형태 정확성 및 비용에 있어 효과적인 공정을 갖춘 새로운 폴리머 기반 마이크로 구조에 관한 것이다. 상기 새로운 폴리머는 곁사슬 거대분자에 기반을 두며, 수축 감소 및 낮은 응력, 높은 형태 신뢰도 및 패턴화된 마이크로 구조에 있어서 높은 종횡비와 같은 현저한 특성 조합을 가능하게 하며, 빠르고 저비용 생산 방법을 제공한다. 본 발명은 상기와 같은 마이크로 구조를 제조하기 위한 방법에 대한 것이다. 폴리머 기반 마이크로 구조는 마이크로- 및 나노-기술 적용에 한정되는 것은 아니며, 랩-온-어-칩 디바이스, 옵토-전자 및 마이크로 전자기계 디바이스, 광학 검출 방법, 자동차, 항공, 정보 기술, 의료 및 생물 기술 및 에너지 시스템과 같은 광범위한 분야에서의 사용에 관련된 것이다.마이크로 디바이스, 곁사슬 폴리머