집적형 박막 태양전지 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명은 집적형 태양전지의 제조 공정시 발생되는 면적손실을 최소화하고 저가의 공정으로도 가능한 집적형 박막 실리콘 태양전지 제조 방법에 관한 것이다.이러한 본 발명에 따른 집적형 박막 태양전지의 제조방법은 (a) 투명기판 상에 인접하고 있는 상호간 소정의 간격으로 이격되도록 패터닝된 투명전극을 형성하는 단계와, (b) 상기 (a)단계에 의한 기판 위에 태양전지(반도체)층을 형성하는 단계와, (c) 상기 태양전지(반도체)층 위에 금속을 비스듬히 증착하여 1차 금속이면전극을 형성하는 단계와, (d) 상기 1차 금속이면전극을 마스크로 사용하여 상기 태양전지(반도체)층을 식각하는 단계 및 (e) 상기 (d)단계에 의한 기판 위에 금속을 비스듬히 증착하여 상기 투명전극과 상기 1차 금속이면전극이 전기적으로 연결되도록 2차 금속이면전극을 형성하는 단계를 포함한다.이러한 본 발명에 따르면, 집적형 박막 태양전지의 단위 소자간 절연 간격을 기존에 비해 수십 배 내지 수백 배 이상 줄일 수 있어 태양전지의 유효 면적을 극대화할 수 있으며, 자기 정렬이 가능하여 정확한 위치제어장치가 불필요하고, 투명전극 형성 후의 모든 공정이 진공 중에서 수행되기 때문에 대기 상태에 노출됨에 따른 태양전지 모듈의 성능 저하를 방지할 수 있는 효과가 있다. 집적형 박막 태양전지, 모듈화, 투명전극, 금속이면전극, 경사에칭