극저온용 기체 헬륨 왕복 유동장치

Abstract

본 발명은 극저온용 기체 헬륨 왕복 유동장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액체질소와 기체질소가 채워진 질소보관용기 내에 냉각핀과 히터가 설치되어 냉각과 가열을 통해 질소의 압력이 증가/감소하여 질소측 벨로우즈가 이완/수축되고, 상기 질소측 벨로우즈에 의해 헬륨측 벨로우즈가 반대로 수축/이완되어 내부의 헬륨가스가 헬륨가스라인을 통해 AMR에 왕복으로 전달됨으로써, 열 에너지로만 작동하기 때문에 장치의 신뢰성이 높고, 종래의 헬륨 압축기 등의 장치가 필요없으며, 상온에 노출된 장비가 따로 없어 소형화가 가능하고, 종래에 피스톤의 마찰면적으로 인하여 진공상태에서 누출 문제가 발생하는 디스플레이서와는 달리 기계적으로 마찰되는 부분이 없어 안정성이 좋은 특징이 있다.