페리틴을 이용한 나노 촉매를 포함하는 다공성 금속산화물 반도체 나노 구조체를 이용한 가스 센서용 부재, 가스 센서 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명은 가스 센서용 부재, 이를 이용한 가스 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 페리틴을 이용한 나노 촉매를 포함하는 다공성 금속산화물 반도체 나노 구조체를 이용한 가스 센서용 부재, 가스 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.본 발명은 금속산화물 전구체, 페리틴 및 고분자가 복합된 나노 구조체를 형성하는 단계; 및 상기 금속산화물 전구체, 페리틴 및 고분자가 복합된 나노 구조체를 열처리하여 결손 기공과 나노 촉매를 포함하는 금속산화물 반도체 나노 구조체를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 열처리를 통하여, 상기 페리틴의 단백질이 열분해되면서 상기 결손 기공을 형성하고, 상기 페리틴의 내부에 존재하던 금속염이 산화되어 상기 나노 촉매를 형성하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 반도체 나노 구조체를 이용한 가스 센서용 부재 제조 방법을 개시하며, 간단한 검출 과정을 통하여 극미량의 가스를 검출해 낼 수 있는 높은 감도 특성과 함께, 다양한 가스에 대한 검출이 가능하도록 우수한 선택성을 가지고, 촉매로서 사용되는 그래핀 소재의 촉매 기능을 최대화할 수 있으며, 효율적인 공정으로 생산이 가능한 가스 센서용 부재, 가스 센서 및 그 제조 방법을 개시할 수 있는 효과를 갖는다.