박막형 재료의 압전특성 평가방법 및 그 장치

Abstract

본 발명은 박막형 재료의 압전특성 평가장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판위에 형성된 박형의 압전재료의 압전특성을 평가함에 있어서 종래에는 종방향 압전상수(d33)만을 측정하였으나, 본 발명은 횡방향 압전상수(d31)도 동시에 측정하기 위하여 스텝 1을 위한 컴프레샤와 스텝 2를 위한 진공펌프를 동시에 구비하여 양압과 음압의 기계적 에너지를 압전박막(Sample)에 효과적으로 인가한다. 이때 압전재료로부터 발생하는 전하(charge)를 전하증폭기를 통하여 측정하고 컴퓨터를 이용하여 데이터를 처리함으로써 기판 위에 형성된 박형 압전재료의 종방향 압전상수(d33), 횡방향 압전상수(d31)를 동시에 측정할 수 있는 장치에 관한 것이다.본 발명은 각종 센서 또는 MEMS(Micro-Electro Mechanical System) 등의 응용에 필수적인 기반기술로써 향후 성장성을 고려할 때 매우 핵심적인 기술로서 박막형 재료의 압전상수 측정장비로써 재료의 측정을 용이하게 하여 압전박막 재료를 이용, 제작되는 각종 센서 또는 MEMS 등의 응용에 필수적인 기반기술을 제공하는 데 있다. 또한 본 발명은 작은 면적의 시편까지 측정이 가능하며 온도 등 실험조건을 용이하게 조절하여 압전상수를 측정할 수 있다.