격자판을 이용한 빔의 폭 측정 장치 및 그 방법

Abstract

이 발명은 레이저 등의 빔의 폭을 측정하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 이 발명의 장치는, 반사물질로 구성되어 반사영역을 형성하는 반사면과, 투과물질로 구성되어 투과영역을 형성하는 투과면이 주기적으로 배열되어 격자 형태로 구성되는 격자판과; 격자판을 직립 상태로 세워 지지한 상태에서 반사면과 투과면의 주기적 배열방향으로 격자판을 직선 이동시키는 직선 이동수단과; 격자판의 표면과 수직한 방향으로 광섬유의 단부를 위치시킨 상태에서 직선 이동수단에 의해 직선 이동하는 격자판의 표면에 광섬유를 통해 수직한 광을 조사하는 광조사부와; 격자판에서 반사되는 반사광을 수신하여 검출하는 광검출부; 및 광검출부에서 검출한 일정 시간마다의 반사광의 출력신호와, 직선 이동수단에 의한 격자판의 직선이동 속도를 이용해 연산하고 그래프화하여 광빔의 폭을 측정하는 제어수단으로 구성된다. 이 발명은 반사면과 투과면이 주기적으로 형성된 격자판에 광섬유의 가이드를 이용해 광을 조사한 후 반사되는 광량을 수신하고 이를 이용하므로, 간단하면서도 저렴한 방법으로 빔의 폭을 측정할 수 있는 장점이 있다.