박막형 수퍼커패시터 및 그의 제조 방법

Abstract

본 발명은 박막형 수퍼커패시터 및 그의 제조 방법에 관한 것으로서, 그래핀 혹은 그래핀 산화물을 이용하여 전극필름을 제조하는 방법, 그래핀 혹은 그래핀 산화물 전극필름을 패터닝 기법을 통해 독립된 두 전극으로 분리하여 이차원 전극을 형성하는 방법, 이차원 전극이 가지는 인플레인(in-plane) 구조, 집전체(current collector)를 전극에 형성하는 방법 및 이차원 전극에 전해질을 공급하여 마이크로미터 규모의 두께를 가지는 수퍼커패시터를 제조하는 방법을 포함한다. 본 발명에 따른 박막형 마이크로-수퍼커패시터는 마이크로 전자기계 시스템 (MEMS: Microelectromechanical systems), 전자종이(Paper-like display), 스마트카드와 같은 매우 작은 전원공급장치가 필요한 초소형 전자기기 분야에 있어서 배터리를 효과적으로 대체 또는 보완할 수 있다.