정밀 블레이드 코팅 장치 및 방법Apparatus and method for precise blade coating
본 발명은 정밀 블레이드 코팅 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판상에 수행되는 블레이드 코팅을 간단한 방법으로 영점조절이 가능하며 더욱 정확한 두께로 코팅을 수행할 수 있는 정밀 블레이드 코팅 장치 및 방법에 관한 것이다.본 발명에 따르면 블레이드 코팅 시스템의 구조적 변경을 통해 더욱 정밀하고 재현성이 우수한 블레이드 코팅을 수행할 수 있으며, 기존의 블레이드 코팅 장치에 비해 더욱 정밀한 두께제어가 가능하며 간단한 방법으로 영점조절(기준값 결정)을 추가적인 전자장비나 측정장비가 필요없이 쉽고 빠르게 수행할 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2015-10-21
- Application Date
- 2014-10-15
- Application Number
- 10-2014-0138947
- Registration Date
- 2015-10-21
- Registration Number
- 10-1563618-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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