자기부상 구동 스테이지용 도체판의 제조방법 및 이를 통해 제조된 도체판 및 이를 포함하는 자기부상 구동 스테이지

Abstract

본 발명은 진공환경에서 적용이 가능한 대형 스테이지의 제작 방법에 관한 것으로, 실제 장비에 적용 가능한 대면적의 구동 범위를 갖는 자기부상 구동 스테이지에 관한 것으로, 구동 스테이지(10)의 하부에 형성되는 고정플레이트(110)에 설치되어 상기 스테이지(150)를 구동시키기 위한 전류가 인가되는 도체판(100)의 제조방법에 있어서, 도체인 판형 소재의 일방향으로 다수 이격하는 부위를 절단 가공하여, 가공된 홀에 의해 다수의 단위 스트립(102)이 수평하게 이격 배열되는 스트립 단위층(105)을 형성하는 제1단계와, 상기 가공된 스트립 단위층(105)에 절연층과 접착층을 형성하는 제2단계와, 상기 스트립 단위층(105)을 상부로 다수 적층하여 상기 단위 스트립(102)이 상하로 서로 수직 교차되는 스트립 적층구조를 형성하는 제3단계와, 상기 적층구조의 둘레부를 커팅시키는 제4단계 및 상기 단위 스트립(102)의 각 단부에 전류를 흘리기 위한 연결코일(104)을 연결하는 제5단계를 포함하는 자기부상 구동 스테이지용 도체판의 제조방법 및 이를 통해 제조된 도체판 및 이를 포함하는 자기부상 구동 스테이지를 제공한다.