2차원 광학 스캐닝을 위한 스캐너, 그 제조방법 및 이를 채용한 의료 영상 기기

Abstract

본 발명은 2차원 광학 스캐닝을 위한 스캐너 및 그 제조방법에 관한 것으로, 스캐너 자체의 비대칭성을 통한 공진주파수의 변조를 이용해 공진주파수 변조를 위한 추가적인 구조물 없이 하나의 입력 신호로 2차원 구동을 구현할 수 있는 2차원 광학 스캐닝을 위한 스캐너에 관한 것이다. 또한, MEMS 공정을 통해 컴팩트한 패키징이 가능하여 소형화 할 수 있어 내시경과 같은 초소형 시스템에 이용할 수 있으며 정밀도가 높을 뿐만 아니라 다양한 형상으로 제조가 가능하며 제조비용이 저렴한 2차원 광학 스캐닝을 위한 스캐너 제조방법에 관한 것이다. 또한, 공진주파수 분리를 통해 축간의 크로스토크 없이 품질이 향상된 의료 영상을 제공할 수 있는 2차원 광학 스캐닝을 위한 스캐너를 채용한 의료 영상 기기에 관한 것이다.