동축 구조의 신호선 및 그의 제조 방법

Abstract

본 발명의 동축 구조의 신호선은 고주파의 전기적 시스템에서 발생하는 신호 간섭 문제 및 신호선 연결 문제를 해결하기 위한 것이다. 본 발명의 동축 구조의 신호선을 제조하기 위해, 먼저 반도체 기판에 홈을 형성하고 홈의 표면 및 기판의 평탄한 표면 위에 제1 접지선을 형성한다. 그리고 나서, 홈의 표면 위에 형성된 제1 접지선 위에 유전 물질로 이루어진 제1 유전층을 형성하고, 제1 유전층 위에 신호 전송을 위한 신호선을 형성한다. 이때, 신호선은 기판의 평탄한 표면 위에 있는 제1 접지선과 거의 동일한 높이에 위치하도록 하다. 다음에, 신호선 및 제1 유전층 위에 유전 물질로 이루어진 제2 유전층을 형성하고, 상기 제1 접지선 및 제2 유전층 위에 제2 접지선을 형성한다. 이와 같이 본 발명의 신호선 구조는 신호선이 제1 및 제2 접지선에 의해 전기적으로 차폐되기 때문에 신호선과 반도체 기판의 다른 신호선과의 간섭을 방지할 수 있으며, 이에 따라 반도체 기판 위에 신호선을 콤팩트하게 배치할 수 있어 시스템을 소형화시킬 수 있다. 동축 구조, 신호선, 차폐, 소형화