단결정 압전물질층을 포함하는 플라스틱 나노제너레이터의 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노제너레이터Method for manufacturing Plastic Nanogenerator comprising monocrystal piezo-electric material and Nanogenerator manufactured by the same
본 발명에 따른 플라스틱 나노제너레이터 제조방법은 층상기판 상에 압전물질층 및 금속층을 적층시켜 압전소자를 형성하는 단계, 상기 압전소자 상에 분리유도금속을 접합시키는 단계, 상기 압전소자 상에 전사기판을 접합시키는 단계, 상기 층상기판을 제거하는 단계, 상기 압전소자를 플라스틱 기판 상에 전사시키는 단계, 및 상기 압전소자 상에 접합된 분리유도금속을 제거하는 단계를 포함하고, 상기 압전물질층은 단결정 PMN-PT (Pb(Mg1//3Nb2/3)O3 - PbTiO3)를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원,(주)아이블포토닉스
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2016-02-26
- Application Date
- 2014-07-09
- Application Number
- 10-2014-0086165
- Registration Date
- 2016-02-26
- Registration Number
- 10-1599779-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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