CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법X-ray detector or image sensor based on CMOS and method of manufacturing the same
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 나노팹 | ko |
| dc.contributor.author | 이완규 | ko |
| dc.contributor.author | 전호승 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T08:26:52Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T08:26:52Z | - |
| dc.date.issued | 2016-01-07 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/231880 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 고성능, 고 분해능, 대면적 및 대면적 확장이 가능한 CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법을 위하여, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서의 제조방법에 있어서, 기판을 준비하는 단계, 상기 기판의 적어도 일면 상에, ROIC(readout integrated circuits), 오버레이 버니어 키(overlay vernier key) 및 얼라인먼트 키(alignment key) 정보를 포함하는 제 1 레티클을 이용하여 상기 단일칩 영역의 테두리를 스티칭 공정에 의하여 복수의 제 1 샷으로 노광하는 단계 및 상기 기판의 적어도 일면 상에, 픽셀 및 로우 드라이버(low driver) 정보를 포함하는 제 2 레티클을 이용하여 상기 단일칩 영역 중 테두리를 제외한 나머지 영역을 스티칭 공정에 의하여 복수의 제 2 샷으로 노광하는 단계를 포함하는, CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법을 제공한다. | - |
| dc.title | CMOS기반의 단일칩을 이용한 X-선 검출기 또는 영상센서 및 그 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | X-ray detector or image sensor based on CMOS and method of manufacturing the same | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이완규 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 전호승 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2014-0067711 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1585078-0000 | - |
| dc.date.application | 2014-06-03 | - |
| dc.date.registration | 2016-01-07 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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